射频板条激光电源的发展现状

目前大功率射频激光电源国外公司主要有AE、COMDEL、ENI/MKS。AE主要生产10kW以下的射频电源。COMDEL公司主要生产10kW以上的射频电源，其最大输出功率为150kW，工作频率范围为2MHz到100MHz。国内生产射频电源公司主要有深圳市暄腾科技发展有限公司和常州瑞思杰尔电子科技有限公司。深圳市暄腾科技发展有限公司主要生产小功率的射频电源，输出功率小于1kW。常州瑞思杰尔电子科技有限公司主要生产高功率的射频电源，输出功率可达到30kW。
 
射频激励CO2激光器功率控制是通过调制器来实现的。调制器通过改变其输出PWM占空比和频率来达到激光加工对光功率等因数的要求。目前国内外激光器产品的实现方法归纳起来有三种：PWM芯片和模拟电路相结合方式，PWM芯片和控制芯片相结合方式，微处理器方式。前一种方式常见于早期的激光器，这种发生方式有以下缺点：一般电路噪声大，智能化低，不易升级，只能产生简单的PWM波等。后两种方式是目前最常用的方式。PWM芯片和控制芯片相结合的方式是目前国内外使用得比较多的成熟产品，使用起来比较方便，但是仍然有其局限性，如它只能在对频率，上升沿和下降沿不高的场合使用等。所以本论文采用了TI公司最新推出的2000系列的DSP产品TMS320F2407微处理器，它的最高频率达到30MHz，具有强大的数据处理与事件管理能力。