射频激光电源射频激励特点

射频激光电源是射频激光器的重要组成部分，它是整个激光器的功率来源。它在半导体和材料制造工艺的发展下得到了很大的发展。激光器电源按照激励方式分为直流激励、高频激励、射频激励、微波激励四种。在CO2气体激光器发展起步阶段，激励方式多采用直流激励。
 
随着技术的进步，电子元器件工艺提高，激光电源也迅猛发展，激励方式从直流激励发展到高频交流激励、射频激励和微波激励。
 
相比于其它几种激励方式，在射频激励中气体放电具有正向伏安特性，可实现自持放电。并且电能利用率高，放电稳定，能实现大面积均匀放电，射频放电时工作电压低，这样电子元器件的寿命可以延长，射频波可以实现高频调节，这对激光功率控制带来很大实惠。通过调节调制波形的脉宽和频率可以有效调节激光器的输出功率。在射频放电中，尽管工作气体在一个封闭腔体内，但是也能实现高功率输出。正是因为射频放电的很多优越特性，射频激励技术成为行业研究热点。
 
射频板条激光器关键技术
射频板条激光器放电频率通常在(10—200)MHz范围内，并且采用金属波导电极。电极采用水冷方式实现工作气体的扩散冷却，射频信号经过屏蔽电缆传输到匹配网络中，最后实现大面积均匀射频放电。射频激励CO2激光器主要有射频传输、均匀放电技术和内外光路整形技术。
 
射频电源为电极提供高能量输入，高能量的注入需要通过匹配网络来进行传输。在射频环境下，如果出现阻抗不匹配，能量会通过匹配网络反馈回来，能量得不到最佳利用效果，相反会对电子管寿命造成影响。在射频电源系统中，要求电源稳定性高，可靠性能好，各个电子元器件在射频干扰下，均能稳定运行。匹配网络中用到各种形状的电感和电阻，很多参数都没有一个很明确数值。这给调试工作带来了很大难度。电极阻抗匹配也是激光电源一个比较难于解决的工程性问题。在射频激光器中只有实现大面积均匀辉光放电，才能保障能量均匀有效注入到电极中，不会因为放电不均匀而导致电极局部受损。
 
激光器输出光斑是一个板条状光斑，条形光斑不是加工首选，需要通过外光路将条状光斑变成圆形光斑，大功率激光整形对光路的精度很高，光路设计出来之后，反射镜在传导激光功率时候高能量会对镜膜造成影响，镀膜工艺也是目前工艺工程上一个难点。